|
|
Víceelektrodový systém ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Uhlář, Vít ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie a detekce signálních elektronů s použitím ionizačního detektoru. První část práce hovoří o principu a uspořádání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Druhá část práce popisuje druhy rozptylu a jednotlivé signály, které vznikají při interakci primárního elektronového svazku se vzorkem. Třetí část práce vysvětluje problematiku nárazové ionizace a ionizačního detektoru. Experimentální část práce se zabývá použitím segmentového ionizačního detektoru a stanovením zesílení výsledného signálu z mědi a platiny v závislosti na zapojení elektrod detektoru. Dále práce zkoumá vliv uspořádání elektrod ionizačního detektoru na materiálový kontrast a na změny napěťového kontrastu na přechodu báze emitor bipolárního tranzistoru typu NPN. Všechny experimenty byly prováděny v závislosti na tlaku nasycených par v komoře vzorku.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Odehnal, Adam ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce pojednává o teoretických poznatcích z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie a environmentální rastrovací elektronové mikroskopie. Popisuje princip činnosti, signály vznikající při interakci primárního svazku elektronů se vzorkem a způsob detekce signálu sekundárních elektronů v environmentálních podmínkách pomocí scintilačního detektoru. Dále se práce zaměřuje na optimalizaci detekce sekundárních elektronů pomocí úprav elektrodového systému scintilačního detektoru. K úpravě je využit počítačový program Simion, kterým jsou modelovány trajektorie signálních elektronů v elektrostatických polích uvnitř detektoru. Provedené simulace byly východiskem pro konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost upraveného detektoru byla určena popsanou metodou z vyhodnocení velikosti signálu z pořízených snímků, schopnost detekovat sekundární elektrony z napěťového kontrastu a kvalita snímků z poměru signálu k šumu.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v ESEM
Buchta, Michal ; Černoch, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou napěťového kontrastu v ESEM. Cílem práce bylo experimentálně ověřit vliv použitých detektorů v závislosti na podmínkách v komoře vzorku na velikost napěťového kontrastu. Podmínkami v komoře vzorku rozumíme tlak a pracovní podmínky detekce signálu.. Jako vzorek byl použit výkonový tranzistor.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Odehnal, Adam ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce pojednává o teoretických poznatcích z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie a environmentální rastrovací elektronové mikroskopie. Popisuje princip činnosti, signály vznikající při interakci primárního svazku elektronů se vzorkem a způsob detekce signálu sekundárních elektronů v environmentálních podmínkách pomocí scintilačního detektoru. Dále se práce zaměřuje na optimalizaci detekce sekundárních elektronů pomocí úprav elektrodového systému scintilačního detektoru. K úpravě je využit počítačový program Simion, kterým jsou modelovány trajektorie signálních elektronů v elektrostatických polích uvnitř detektoru. Provedené simulace byly východiskem pro konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost upraveného detektoru byla určena popsanou metodou z vyhodnocení velikosti signálu z pořízených snímků, schopnost detekovat sekundární elektrony z napěťového kontrastu a kvalita snímků z poměru signálu k šumu.
|
|
|
Víceelektrodový systém ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Uhlář, Vít ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie a detekce signálních elektronů s použitím ionizačního detektoru. První část práce hovoří o principu a uspořádání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Druhá část práce popisuje druhy rozptylu a jednotlivé signály, které vznikají při interakci primárního elektronového svazku se vzorkem. Třetí část práce vysvětluje problematiku nárazové ionizace a ionizačního detektoru. Experimentální část práce se zabývá použitím segmentového ionizačního detektoru a stanovením zesílení výsledného signálu z mědi a platiny v závislosti na zapojení elektrod detektoru. Dále práce zkoumá vliv uspořádání elektrod ionizačního detektoru na materiálový kontrast a na změny napěťového kontrastu na přechodu báze emitor bipolárního tranzistoru typu NPN. Všechny experimenty byly prováděny v závislosti na tlaku nasycených par v komoře vzorku.
|
|
|
Víceelektrodový systém ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Uhlář, Vít ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie a detekce signálních elektronů s použitím ionizačního detektoru. První část práce hovoří o principu a uspořádání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Druhá část práce popisuje druhy rozptylu a jednotlivé signály, které vznikají při interakci primárního elektronového svazku se vzorkem. Třetí část práce vysvětluje problematiku nárazové ionizace a ionizačního detektoru. Experimentální část práce se zabývá použitím segmentového ionizačního detektoru a stanovením zesílení výsledného signálu z mědi a platiny v závislosti na zapojení elektrod detektoru. Dále práce zkoumá vliv uspořádání elektrod ionizačního detektoru na materiálový kontrast a na změny napěťového kontrastu na přechodu báze emitor bipolárního tranzistoru typu NPN. Všechny experimenty byly prováděny v závislosti na tlaku nasycených par v komoře vzorku.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v ESEM
Buchta, Michal ; Černoch, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou napěťového kontrastu v ESEM. Cílem práce bylo experimentálně ověřit vliv použitých detektorů v závislosti na podmínkách v komoře vzorku na velikost napěťového kontrastu. Podmínkami v komoře vzorku rozumíme tlak a pracovní podmínky detekce signálu.. Jako vzorek byl použit výkonový tranzistor.
|
host ::
RSS.